原子荧光光谱法是原子光谱法中的一个重要分支，是介于原子发射(AES)和原子吸收(AAS)之间的光谱分析技术，它的基本原理就是: 固态、液态样品在消化液中经过高温加热，发生氧化还原、分解等反应后样品转化为清亮液态，将含分析元素的酸性溶液在预还原剂的作用下，转化成特定价态，还原剂KBH4反应产生氢化物和氢气，在载气（氩气）的推动下氢化物和氢气被引入原子化器（石英炉）中并原子化。特定的基态原子(一般为蒸气状态)吸收合适的特定频率的辐射，其中部分受激发态原子在去激发过程中以光辐射的形式发射出特征波长的荧光，检测器测定原子发出的荧光而实现对元素测定的痕量分析方法。 原子荧光光谱法的优点如下。
(1)有较低的检出限，灵敏度高。特别对Cd、Zn等元素有相当低的检出限，Cd可达0.001ng／m3、Zn为0.04ng／m3。现已有20多种元素的检出限低于原子吸收光谱法。由于原子荧光的辐射强度与激发光源成比例，采用新的高强度光源可进一步降低其检出限。
(2)干扰较少，谱线比较简单，采用一些装置，可以制成非色散原子荧光分析仪。这种仪器结构简单，价格便宜。
(3)分析标准曲线线性范围宽，可达3～5个数量级。
(4)由于原子荧光是向空间各个方向发射的，比较容易制作多道仪器，因而能实现多元素同时测定。
上述优点使原子荧光光谱法的应用日益广泛，但仍存在荧光淬灭效应、散射光的干扰等问题，同时，此方法用于复杂基体的样品测定比较困难，且在分析化学领域内发展较晚，因此，相比之下不如原子发射光谱法和原子吸收光谱法的应用广泛。
原子荧光光谱法是我国少数具有自主知识产权的科学仪器之一，我国已在原子荧光技术应用方面建立了40多项国家和行业标准，这些标准的建立，使原子荧光光谱法在地质、冶金、食品、水质、环境、轻工、电子等领域的应用起到了很好的促进作用。
